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高精度烤膠機有哪些擴展功能

更新時間:2022-04-20   點擊次數(shù):1156次

高精度烤膠機的基本功能

加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制  

控溫范圍:室溫--200/300/400/500/600℃

溫度分辨率 :0.1℃     

溫度波動度:≤±0.5℃         

溫度均勻性:≤±0.5/1℃ 

電源輸入:AC220V             

熱板表面: 由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成

高精度烤膠機的擴展功能

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃,無氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能型控制系統(tǒng)

高精度烤膠機的用途

        用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。


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上海雋思實驗儀器有限公司主營產(chǎn)品:無氧化烘箱,精密熱風(fēng)烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
地址:上海奉賢柘林工業(yè)區(qū)3213號

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